چرخه پایش فرآیند (Process Monitoring Cycle) خود به صورت یک فرآیند بوده که در آن فرآیندهای سازمان پایش شده و ارزیابی می‌شوند. این چرخه که بر مبنای رویکرد PDCA آقای دمینگ توسعه داده شده، شامل 4 مرحله اصلی می باشد که عبارتند از:

برنامه‌ریزی (P): در این مرحله که اولین مرحله از چرخه پایش فرآیند است، برنامه های پایش فرآیندهای سازمان تدوین و طراحی می گردد. این برنامه، شامل تعریف شاخص هایی جهت پایش و نظارت (شامل تعریف شاخص های کارایی و اثربخشی، تعریف شاخص های پیشرو و پَسرو) تعریف دقیق روش پایش و زمان بندی پایش شاخص ها است. همچنین افرادی که بایستی این پایش و کنترل را انجام دهند در این بخش مشخص می گردد و در صورت نیاز آموزش های لازم به ایشان داده خواهد شد.

اجرا (D): در این مرحله وارد فاز اجرایی شده و عملیات کنترل و پایش بر روی فرآیندهای سازمان صورت می گیرد. بر اساس برنامه‌هایی که در مرحله برنامه‌ریزی تعریف شده، داده ‌های مورد نیاز برای پایش و کنترل در این فاز جمع‌آوری شده و در یک بستر مناسب برای نظارت بر عملکرد فرآیند مورد استفاده قرار می گیرند.

ارزیابی (C): پس از انجام پایش و نظارت در مرحله قبل، در این مرحله نتایج بدست آمده از شاخص ها و عملکرد فرآیندها مورد تجزیه و تحلیل دقیق قرار گرفته و داده های بدست آمده آنالیز می شود. همچنین یکی از مهم ترین کارها در این مرحله شناسایی مشکلات و فرصت های بهبود عملکرد فرآیندها است تا در ادامه بتوان به این موارد پرداخته شود.

بهبود (A): در این مرحله، بر اساس نتایج بدست آمده از ارزیابی شاخص ها در مرحله قبل، برنامه های بهبود برای عملکرد فرآیندها و ارتقای شاخص های فرآیندی ارایه خواهد شد. این برنامه ها می تواند شامل پروژه های بهبود، آموزش های مرتبط، ارزیابی بلوغ فرآیند و … باشد. در واقع در این مرحله به دنبال آن هستیم تا ضعف هایی که در عملکرد فرآیند مشاهده شده را برطرف نماییم و مجدداً چرخه را از ابتدا اجرا نماییم.

بعد از اتمام مرحله بهبود، چرخه پایش فرآیند مجدداً وارد مرحله برنامه‌ریزی شده تا چرخه مجدداً شروع به حرکت نماید. با اجرای چندین و چندباره این چرخه که بصورت تکراری یا Iterative کار می کند، عملکرد فرآیندها در سازمان به تدریج بهبود خواهد یافت.